>>>技術(shù)描述>>>

1. 粗糙度分析：Ra、Ramax、Ramin、Rasd、Rp、Rpmax、Rpmin、Rpsd、Rv、Rvmax、Rvmin、Rvsd、Rz、Rzmax、Rzmin、Rzsd、R3z、Rc、Rcmax、Rcmin、Rcsd、Rt、Rq、Rqmax、Rqmin、Rdsd、Rsk、Rskmax、Rsmin、Rsksd、Rku、Rkumax、Rkumin、Rkusd、Rsm、Rsmmax、Rsmmin、Rsmsd、Rs、R△a、R△amax、R△amin、R△asd、R△q、R△qmax、R△qmin、R△qsd、Rk、Rpk、Rvk、Mr1、Mr2、Rλa、Rλamax、Rλamin、Rλasd、Rλq、Rλqmax、Rλqmin、Rλqsd、Rδc、Rpc、Rmr；

2. 波紋度分析：Wa、Wamax、Wamin、Wasd、Wsa、Wca、Wa08、Wc、Wcmax、Wcmin、Wcsd、Wt、Wz、Wzmax、Wzmin、Wzsd、Wp、Wpmax、Wpmin、Wpsd、Wv、Wvmax、Wvmin、Wcsd、Wq、Wqmax、Wqmin、Wqsd、Wsm、Wsmmax、Wsmmin、Wsmsd、Wsk、Wskmax、Wskmin、Wsksd、Wku、Wkumax、Wkumin、Wkusd、W△q、W△qmax、W△qmin、W△qsd、Wδc、Wmr；

3. 原始輪廓分析：Pa、Pt、Pp、Pc、Pv、Pz、Pq、Psm、Psk、Pku、RzJ、Rpq、Rvq、Rmq、Pmr、P△q、Avh、Hmax、Hmin、Area、Pδc、Tilta。

4. 測量范圍

a. X方向驅(qū)動器：120mm；

b. Z1粗糙度量程：±1500μm；

c. Z1分辨率：0.01微米；

d. Z軸高度（立柱）：400mm；

5. 輪廓技術(shù)參數(shù)

a. 線性精度：±（0.7+|0.12H|）μm；

b. 直線度：0.5μm/100mm；

6. 粗糙度技術(shù)參數(shù)

a. 線性精度：≤±5%；

b. 殘值噪聲：≤0.005μm；

c. 重復(fù)穩(wěn)定性：試值3%；

d. 截止波長：0.025、0.08、0.25、0.8、2.5、8mm；

e. 評定長度：λcX1、2、3、4、5。