>>>技術描述>>>

1. 測量范圍：

a. X方向驅動器：130mm；

b. Z1輪廓度量程：20mm；

c. Z1粗糙度量程：±1500μm；

d. Z1分辨率：0.02微米；

e. Z軸高度（立柱）：550mm；

f. 可測量最小內孔：10mm；

2. 輪廓技術參數：

①　線性精度：±（0.7+|0.12H|）μm；

②　Z方向（H=Z軸方向測量高度）：±(0.6+0.02H)μm;

③　圓弧精度≦±（0.8+R/12）μm；

④　角度誤差≤±1′；

⑤　直線度0.6μm /100mm；

3. 輪廓度技術參數：

①　示值誤差± (5μm+0.05A)；

②　線性精度：≤±5%；

③　殘值噪聲：≤0.005μm；

④　重復穩定性：試值3%；

⑤　截止波長：0.025、0.08、0.25、0.8、2.5、8mm；

⑥　評定長度：λcX1、2、3、4、5、6、7；

⑦　傳感器：雷尼紹進口光柵傳感器，分辨率0.01μm；產地英國； 

⑧　爬坡角度：爬坡角度上升77度，下降88度；

⑨　粗糙度評定參數：Ra、Rz、(Rmax、Ry)、Rt、Rp、Rpm、Rz(jis)、Rv、R3z、Rs m、Rsk、Rk、Rc、Rpk、Rvk、Mr1、Mr2；

⑩　測量速度(輪廓)0.02mm至4.0mm/s；

?　測量速度：0.05-20mm/s；

?　測量方式為傳感器移動。